曳尾有一种更为贴切的说法:彗星拖尾,是一种抛光后的样品缺陷。当样品与抛光盘沿同一方向运动时,曳尾常发生在析出相或孔洞的周围。
那么这种现象如何避免呢?抛光过程中,样品和抛光盘使用相同的旋转速度,间或沿着径向来回移动几次(下压的用力不要很大);尤其注意快要结束前,沿径向移动几次,即可消除。抛光布的湿度也要控制好;拋光织物注意清洗干净也有助于减少出现的可能,如果抛光布过脏则难以避免出现曳尾,不仅如此,还会影响蚀刻的均匀性。最后要注意在磨抛过程中试样要不停的移动,避免长时间的抛光。
还有一种磨抛缺陷叫研磨轨迹,即研磨粒子在硬表面上无规运动而在样品表面上留下的印痕。虽然样品上没有划痕,但可见到粒子在表面上无规则运动留下的清晰痕迹。使用的磨拋盘或拋光布不合适, 或者施加的压力不准确,这些错误合在一起易导致擦痕。
要避免这种问题则要选用高弹性的抛光布,适量增加研磨/拋光的力度。
古莎小贴士:
抛光布经过多次使用后会有样品碎屑残留,是需要清洗的,清洗的方法是使用通用复合清洁剂742型或者使用的悬浮液,布面用清水,使用抛光膏的用酒精,低转速配合塑料刮片由中心向边缘清洁。
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