在做软金属的金相试样时，容易出现一些细小划痕怎么也不能完全去除的问题。在这种情况下，我们建议再增加一道振动抛光的工序。

振动抛光可以快速去除试样表面因机械抛光而留下的微小划痕和变形层，从而得到一个光滑无应力的表面，达到 EBSD 或 AFM 试样的标准。相对于电解抛光和离子抛光，振动抛光有更广的适用性。它不需要腐蚀性强且易爆的电解液，也无需昂贵的设备，适用于任何材料或混合材料。

振动抛光并不能代替机械抛光，振动抛光是在机械制备法完成后用来去除其表面因机械抛光而产生的微小划痕和变形层，消除表面应力。只有高质量地完成前面的机械抛光，后续的振动抛光才能成功、高效进行，否则将得不到想要的结果。

振动抛光可以使用粒度介于 0.02至1μm 的金刚石抛光液或氧化物的悬浮液进行抛光，推荐使用标准机械制备方法中最后阶段所使用的相同抛光悬浮液。由于振动抛光的时间较长，抛光液的溶剂可能会蒸发造成干涸或结晶，因此要注意在整个抛光周期中保持抛光布的润湿。一般使用中短绒的抛光布，因为这种布料中的纤维有助于样品在抛光表面上移动并帮助确保得到均匀的抛光效果。

振动抛光后试样表面没有划痕，且各相的轮廓清晰分明。

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