应对措施：镶样时避免在样品和树脂间有留下缝隙，各道制样工序后立即清洗并干燥样品。在氧化物抛光的最后10秒里，用凉水冲洗抛光布，使样品和抛光布同时得到清洗，最终抛光后避免使用压缩空气干燥样品，因为压缩空气含有油或水。保存样品时，不能将样品置于空气中，因为湿气可能浸蚀样品。应该将样品保存在干燥皿中。

二、变形，镶嵌不当可能导致在研磨、精研或抛光之后存在表面下缺陷。可在蚀刻之后首先看到残余的塑性变形。

应对措施：变形是一种浸蚀后即刻显现的假象(化学、物理或光浸蚀)。如果在明场下观察未浸蚀样品时仍可见到怀疑是变形线的形貌，则需要重新打磨抛光。

三、不平整，当使用回复性高的抛光布时，有时会同时研磨样品的表面和侧面，这种效应称为边缘磨圆。如果树脂的磨损速率大于样品，则会出现这种现象。

应对措施：磨制过程中要保护好需检验的边缘，不要因检验样品边缘而对样品边缘过度磨制产生倒角，抛光时试样需要保护的一边朝后，不需保护的一边在前，迎着抛光盘转动的方向进行抛光，抛光时尽可能接近盘心位置，抛光时间不宜过长。

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